１．高速度カメラ仕様
仕様はご相談下さい。
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２．鉛直軸変位量測定仕様
現在準備中です。
３．チャンバ内酸素濃度の自動制御特注仕様
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1)．目的 |
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加熱中も、チャンバ内の酸素濃度を指定値に制御することが可能です。 |
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2)．仕様 |
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※詳細は、お問い合わせ下さい。 |
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４．高真空仕様 高温観察装置
仕様概要
高真空 1.33×10-2Pa（10-5Torr オーダ）の雰囲気中において４００℃まで加熱可能であり、さらに、この状態で試料の状態変化が観察可能な装置です。
５．水素仕様
水素仕様または、空気・窒素以外の気体仕様です。 詳細は、お問い合わせください。
６．超高倍率観察仕様
1)．概要
従来の高倍率（BB-02 260倍6μm）と比較して大幅な観察倍率の向上を実現しました。
従って、従来、不可能であった0603、0402型チップ部品の実装状態の観察およびIC内部のウエハレベルのはんだ接続（ボール径60μm）の観察等が可能となりました。
2)．仕様
観察倍率：45～520倍（光学0.87～10.5倍）
観察視野：7.5×5.0～0.55×0.45(mm)
解像度 ：6μm
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